Журнал «Современная Наука»

Математическое моделирование взаимодействия эллиптически поляризованного света с периодической наноструктурой, содержащей дефектный слой

Яцышен Валерий Васильевич (Профессор, ФГАОУ ВО "Волгоградский государственный университет" )

В работе приводятся результаты моделирования процесса отражения эллиптически поляризованного света от наноструктуры с дефектом. Показано, что угловые спектры модуля комплексного эллипсометрического параметра отраженной волны имеют четко выраженные максимумы, которые достигаются при = и = соответственно для идеальной наноструктуры и структуры с дефектом. При этом максимум этого параметра во втором случае примерно в 3 раза превосходит максимум в первом. Аргументы комплексных эллипсометрических параметров для исследуемых двух случаев наблюдаются значительные отличия в области углов падения . Оба угловых спектра эллипсометрических параметров демонстрируют ярко выраженное различие в зависимости от угла падения для идеальной наноструктуры и структуры с дефектом, что может служить более тонким инструментом диагностики по сравнению с обычными энергетическими спектрами отражения и прохождения. Показано, что особую чувствительность к дефекту проявляет форма и характер эллипса поляризации отраженного от наноструктуры эллиптически поляризованного света.

Ключевые слова:периодическая наноструктура, отраженная волна дефект, эллипсометрические параметры, угловые спектры, эллиптическая поляризация.

Читать полный текст статьи …

Ссылка для цитирования:
Яцышен В. В. Математическое моделирование взаимодействия эллиптически поляризованного света с периодической наноструктурой, содержащей дефектный слой // Современная наука: актуальные проблемы теории и практики. Серия: Естественные и Технические Науки. -2022. -№12. -С. 107-113 DOI 10.37882/2223-2966.2022.12.40

ПРАВОВАЯ ИНФОРМАЦИЯ:
Перепечатка материалов допускается только в некоммерческих целях со ссылкой на оригинал публикации. Охраняется законами РФ. Любые нарушения закона преследуются в судебном порядке.
© ООО "Научные технологии"